Die induktiv gekoppelte Plasmamassenspektrometrie (ICP-MS) ist eine Art der Massenspektrometrie, die hochempfindlich ist. Sie kann eine Reihe von Metallen und mehrere Nichtmetalle bei Konzentrationen unter einem Teil in 1012 (Teil pro Billion) sehen. Sie beruht auf dem Zusammenhaken eines induktiv gekoppelten Plasmas als Verfahren zur Erzeugung von Ionen (Ionisation) mit einem Massenspektrometer als Verfahren zur Trennung und zum Nachweis der Ionen. Viele Chemiker verwenden Argon als Trägergas zur Herstellung des Plasmas. Die Maschine schickt die Proben-Ionen durch eine Reihe kleiner Kegel. Die Kegel lassen die Plasma-Ionen langsam in die Vakuumkammer des Massenspektrometers eindringen.
In der Spurenelementanalyse hat die Methode im Vergleich zu Atomabsorptionsverfahren den Vorteil der hohen Geschwindigkeit, Präzision und Empfindlichkeit. Die Analyse niedrigerer Konzentrationen zur gleichen Zeit ist anfälliger für Störungen durch Spurenverunreinigungen in den verwendeten Laborgeräten und Reagenzien. Einige Analyten können mit der ICP-MS nicht arbeiten. Die Verifizierung von Analyseergebnissen erfordert zusätzliche Arbeit.
Die Vielfalt der Anwendungen geht über die der ICP-OES hinaus und umfasst auch die Isotopenspeziation. Da ICP-MS bei der Herstellung von Atombomben helfen kann, ist ICP-MS-Hardware Gegenstand besonderer Exportbestimmungen.