Die ersten Regierungsbezirke wurden 1808/16 durch das Königreich Preußen geschaffen, das seine Provinzen in 25 Regierungsbezirke teilte. Die nordrhein-westfälischen Regierungsbezirke sind die direkte Fortsetzung der 1815 geschaffenen Regierungsbezirke. Andere Staaten des Deutschen Reiches schufen ähnliche Gebilde, die Kreishauptmannschaft (in Sachsen) oder Kreis (in Bayern und Württemberg) genannt wurden (nicht zu verwechseln mit dem heutigen Kreis oder Landkreis). Während des Dritten Reiches vereinheitlichte die nationalsozialistische Regierung die Namensgebung; seitdem heißen alle diese Einheiten Regierungsbezirk.
Am 1. Januar 2000 löste Rheinland-Pfalz seine drei Regierungsbezirke Koblenz, Rheinhessen-Pfalz und Trier auf - die Mitarbeiter und das Vermögen der drei Bezirksregierungen wurden in drei landesweit zuständige Behörden umgewandelt, die jeweils einen Teil der bisherigen Aufgaben der Bezirksregierung abdecken.
Sachsen-Anhalt hat zum 1. Januar 2004 seine drei Regierungsbezirke aufgelöst: Dessau, Halle und Magdeburg. Die Aufgaben werden nun von einem Landesverwaltungsamt mit drei Büros an den ehemaligen Sitzen der Bezirksregierungen wahrgenommen.
Am 1. Januar 2005 löste Niedersachsen seine vier Regierungsbezirke auf: Braunschweig, Hannover, Lüneburg und Weser-Ems.
Im Jahr 2005 plante Nordrhein-Westfalen, seine fünf Regierungsbezirke abzuschaffen und drei Selbstverwaltungseinheiten zu schaffen. Der alte Regierungsbezirk "preußischer Prägung" hatte keine Selbstverwaltungsorgane.
