Nosferatu ist die einzige Produktion von Prana Film. Prana Film wurde 1921 von Enrico Dieckmann und Albin Grau gegründet. Grau hatte die Idee, einen Vampirfilm zu drehen; die Inspiration ergab sich aus Graus Kriegserfahrung: Im Winter 1916 erzählte ihm ein serbischer Bauer, dass sein Vater ein Vampir und einer der Untoten sei.
Diekmann und Grau gaben Henrik Galeen einen Auftrag für ein Drehbuch, das von Bram Stokers Roman Dracula von 1897 inspiriert war, obwohl Prana Film keine Rechte an dem Film hatte. Galeen war ein erfahrener Spezialist für die dunkle Romantik; er hatte bereits 1913 an Der Student von Prag und dem Drehbuch zu Der Golem, wie er in die Welt kam (1920) gearbeitet. Galeen spielte die Geschichte in einer fiktiven norddeutschen Hafenstadt namens Wisborg und änderte die Namen der Figuren. Er fügte die Idee hinzu, dass der Vampir die Pest über Ratten auf dem Schiff nach Wisborg bringt. Die Figur des Vampirjägers Van Helsing ließ er weg. Galeens Drehbuch des deutschen Expressionismus war poetisch rhythmisch, ohne so zerstückelt zu sein wie andere vom literarischen Expressionismus beeinflusste Bücher, wie die von Carl Mayer. Lotte Eisner beschrieb Galeens Drehbuch als "voll Poesie, voll Rhythmus" ("voller Poesie, voll Rhythmus").
Dieckmann und Gray gewann den Regisseur Friedrich Wilhelm Murnau, der bis 1919 Filme drehte, sich aber mit seinen ersten sieben Produktionen den Ruf eines talentierten Filmemachers erworben hatte. Gray, der an der Kunstakademie in Dresden studiert hatte, übernahm die künstlerische Leitung und entwarf Bühnenbild und Kostüme. Für den Soundtrack des musikalischen Leiters des Prana-Films war Hans Erdmann verantwortlich. Fuer die Titelrolle wurde der unbekannte Buehnenschauspieler Max Schreck aus Muenchen verpflichtet. Weitere Rollen übernahm das expressionistische Theater von Max Reinhardt, der Schauspieler wie Greta Schröder, Gustav von Wangenheim und Alexander Granach, einen ehemaligen Mitschüler an der Schauspielschule Murnau Reinhardts am Deutschen Theater, ausbildete.
Die Dreharbeiten begannen im Juli 1921. Außenaufnahmen wurden in Wismar gedreht. Eine Aufnahme vom Turm der Marienkirche über dem Wismarer Marktplatz mit der Wasserkunst Wismar diente als Grundstein für die Wisborg-Szene. Weitere Drehorte waren das Wassertor, der Hof der Heiligen-Geist-Kirche und der Hafen. In Lübeck diente der verlassene Salzspeicher als Nosferatu's neues Wisborg-Haus, der des Kirchhofes der Aegidienkirche als Hutters und unten die Depenauer Sargträger trugen Särge. Viele Spaziergänge in Lübeck fanden auf der Jagd nach Knock statt, der Hutter im Hof von Füchting befahl, den Grafen zu treffen. Weitere Außenaufnahmen folgten in Lauenburg, Rostock und auf Sylt. Das Filmteam reiste in die Karpaten, wo die Burg von Orava als Kulisse für die halbverfallene Burg von Orlok diente. Auch nahe gelegene Drehorte dienten als Kulisse: Hutters Aufenthalt in Dolný Kubín, die Flussfahrt mit den auf der Waag gedrehten Särgen und die Panoramen des Gebirges der Hohen Tatra. Das Team drehte Innenaufnahmen im JOFA-Studio in Berlin-Johannisthal und weitere Außenaufnahmen im Tegeler Wald. Teile des Films, der in Siebenbürgen spielt, wurden auch in der Slowakei gedreht.
Aus Kostengründen stand dem Kameramann Fritz Arno Wagner nur eine Kamera zur Verfügung, so dass es nur ein Originalnegativ gab. Der Regisseur hielt sich genau an Galeens Drehbuch und befolgte dabei handschriftliche Anweisungen zur Kamerapositionierung, zur Beleuchtung und zu verwandten Themen. Dennoch schrieb Murnau 12 Seiten des Drehbuchs komplett neu, da Galeens Text im Arbeitsdrehbuch des Regisseurs fehlte. Dies betraf die letzte Szene des Films, in der Ellen sich opfert und der Vampir in den ersten Sonnenstrahlen stirbt. Murnau bereitete sich sorgfältig vor; es gab Skizzen, die jeder gefilmten Szene genau entsprechen sollten, und er benutzte ein Metronom, um das Tempo der Schauspieler zu steuern.
Da die Kamera meist statisch und unbeweglich gegenüber Nosferatu war, nutzte Murnau Bewegung und Differenzierung innerhalb des starren Kaders, um die Szene zu beleben. Da sich Orloks Schiff langsam von rechts nach links durch die Filmleinwand bewegt, nutzte Murnau dies, um Eisners "starke Wirkung[en] des Eindrucks der Querbewegung" zu betonen. Dies diente dem gleichen Zweck Subjektivierung des Kamerablicks, etwa wenn der Vampir auf dem Schiff aus der Froschperspektive gefilmt oder aus Fenstern, Teilen des Bildausschnitts und Aufnahmen in Sichtweite steht. Der Höhepunkt des subjektivierten Blicks sind die Szenen, in denen sich die Vampirfigur - direkt in die Kamera blickend - dem Publikum zuwendet und damit die vierte Wand durchbrochen wird: "Der Vampir scheint durch seine Unermesslichkeit, die Dimensionen der Leinwand zu explodieren und die Zuschauer direkt zu bedrohen".